英諾激光回應了提問:可以產生深紫外光、極紫外光,理論上355nm激光光源經一次曝光后可變為175nm...
2021-07-30 15:41   
來源: 深交所互動易   
影響力評估指數:20  
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投資者問:固態激光光源的優點是可變波長,可以產生深紫外光、極紫外光。理論上355nm激光光源經一次曝光后可變為175nm,二次曝光后變為86nm,經多次曝光后理論上可以應用于28nm以上光刻機。請問理論上這是可行嗎?公司是否有開展光刻機的研究計劃?謝謝
英諾激光(301021):激光器的光學設計較為復雜,本著對負責的態度,公司無法簡單答復您是否可行。敬請諒解!公司未來發展計劃請關注公司公告。
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